极紫外空间像显微镜(关于极紫外空间像显微镜的简介)

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1、 为评估极紫外掩模上缺陷情况，检测其空间像，业界专门研发了极紫外空间像显微镜（aerial image metrology system。

2、AIMSTM），或者叫EUV显微镜（EUV Microscope） 。

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